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　　作為亞太半導體產業標桿盛會，2026 SEMICON China 集中展示了全球產業鏈前沿技術與國產替代核心成果。展會期間，化工儀器網走進高新技術企業、北京市專精特新中小企業北京鐳測科技有限公司(下稱 “鐳測科技”)展臺，獨家對話公司副總經理夏如孝先生，探尋這家深耕激光精密測量領域的企業，從核心器件到整機系統全鏈條自主可控的發展路徑與突破成果。
 

　　作為國內少有的集激光基礎技術研究、激光基礎器件研發、激光應用系統開發于一體的高科技企業，鐳測科技長期堅持“基礎技術研究+基礎器件研發+核心系統開發”的全鏈條發展模式，已構建起完整的自主知識產權體系，成為國內高端精密測量領域的核心力量。
 

　　深耕全鏈條技術布局，夯實高端測量底層能力
 

　　半導體制造向亞納米級的持續進階，讓高端精密測量成為產業鏈自主可控的核心攻堅賽道。經過多年的技術沉淀與研發攻堅，鐳測科技搭建起強大的研發團隊，成功研發出多款滿足市場核心需求的高精度測量儀器與核心器件，核心產品線覆蓋氦氖激光器、穩頻激光器、雙頻激光器、雙頻激光干涉儀、固體差動激光干涉儀、光學內應力及相位延遲測量儀、激光納米測尺等全品類，可滿足半導體芯片制造、機械加工、光學加工等行業的納米級、亞納米級高精度測量需求，同時可為客戶提供覆蓋全鏈條的技術解決方案。
 

　　區別于行業內多數企業的發展路徑，鐳測科技實現了從核心光源器件到測量儀器整機的全鏈條自主可控，這一能力也成為其應對行業技術壁壘、市場需求變化的核心根基。
 

　　攻堅核心技術壁壘，破解精密測量“卡脖子”難題
 

　　納米級、亞納米級的精密測量，高度依賴高穩定性、高可靠性的激光器，而長期以來，國內精密測量領域廣泛使用的氦氖激光器高度依賴進口，相關企業與科研機構始終面臨斷供風險。
 

　　夏如孝在采訪中介紹，鐳測科技在創始人清華大學張書練教授近40年的研究基礎上，經過多年持續研發，成功研制出可伐-玻璃組裝的氦氖激光器，為激光精密測量儀器提供了國產化的穩定光源，解決了這一領域的“卡脖子”難題，也讓企業成為國內極少數具備從激光器到激光干涉儀整機全鏈條研發生產能力的廠商。
 

　　在核心技術成果轉化方面，鐳測科技的“雙折射雙頻激光器及干涉儀的關鍵和全鏈條技術” 成功入選2022年度中國十大光學產業技術。同時，鐳測科技在1064納米固體激光器的應用上也實現了突破性創新。團隊利用固體激光器的激光回饋效應，將回傳激光的調制幅度實現100萬倍的放大，可高效捕捉利用極微弱的回傳激光，這一原理從根本上突破了傳統干涉儀對靶鏡的依賴，真正實現了精密測量領域的非接觸式測量，為行業開辟了全新的技術路徑。
 

　　多款重磅產品亮相展會，直擊半導體測量核心痛點
 

　　本次SEMICON China展會上，鐳測科技攜核心產品亮相，針對半導體行業嚴苛的測量需求，直擊傳統測量設備的行業痛點，多款產品打破了西方國家的技術封鎖。
 

鐳測科技參展人員合影
 

　　其中，LH1000 系列雙頻激光干涉儀是本次展出的核心產品。該產品具備0-40兆赫茲的頻差范圍、1毫瓦的高出光功率、14米每秒的高測量速度，以及優于±0.15 納米的超低非線性誤差，曾榮獲2025年度中國國際工業博覽會集成電路特創新成果獎，核心應用場景覆蓋光刻機、半導體量檢測等高端設備。夏如孝表示，這類高功率、大頻差、高精度的雙頻激光干涉儀長期受到西方國家嚴格管控，可實現亞納米級別閉環功能的雙頻激光干涉儀測量板卡更是被納入瓦森納協議限制清單，而目前上述產品與核心部件，鐳測科技均已實現國產化自主供應。
 

　　同時亮相的LY1000固體激光差動干涉儀，基于激光回饋原理開發，除可覆蓋傳統干涉儀的全部測量場景外，還可實現對微、小、輕、薄、毒、易變形等非合作目標的納米級高精度測量，可廣泛應用于納米級晶圓軸向跳動、金屬薄膜動態形變、液體蒸發速率、光柵刻線金剛石刀頭位移等特殊測量場景，填補了傳統測量設備的應用空白。
 

　　此外，展出的LCU20激光尺搭載鐳測科技自主研發的氦氖激光器，通過雙縱模熱穩頻單頻測量技術，可實現高精度閉環反饋，性能遠超傳統光柵尺，同樣打破了西方國家的出口限制，在半導體量檢測設備、計量檢測行業擁有廣闊的應用空間。
 

　　多維度發力打破認知壁壘，深耕半導體國產替代
 

　　隨著國內對國產儀器的扶持政策持續落地，科研機構、高校等采購端對國產儀器的采購傾斜持續加大，但在半導體領域，國產測量儀器仍面臨用戶“不愿用、不敢用”的認知壁壘。夏如孝在采訪中坦言，半導體芯片制造屬于流程工藝，各生產環節環環相扣，任何一個環節都對設備的效率、穩定性、安全性有著極致要求，未經長期可靠性測試驗證的設備與零部件，無法進入量產產線，這對國產廠商提出了嚴格的要求。
 

　　基于這一行業現狀，鐳測科技從核心零部件到儀器整機實現了真正的全鏈條國產化，同時從兩大維度發力打破行業認知壁壘：一方面嚴格按照客戶需求完成產品長期可靠性測試，為客戶提供完善、可溯源的測試與驗證報告，用數據驗證產品性能與穩定性；另一方面積極適配半導體客戶的使用節奏，在客戶附近布局服務網點，實現就近服務、及時響應，為客戶提供全周期的技術支持與服務保障。
 

　　自主可控筑牢發展底氣，錨定中國標準輸出新目標
 

　　在全球貿易摩擦加劇、供應鏈不確定性持續增加的行業背景下，全鏈條自主可控的核心能力，成為鐳測科技應對出口管制、關鍵部件進口限制的發展底氣。目前，鐳測科技的氦氖激光器、雙頻激光干涉儀、激光尺等核心產品均已打破國外技術封鎖，固體激光差動干涉儀、即將推出的激光納米尺等產品，更是突破了傳統測量設備的技術局限，為全球激光精密測量領域提供了全新的中國方案。
 

　　談及未來發展，夏如孝表示，鐳測科技正深度參與相關產品國家標準的制定，同時積極響應國家“十五五”規劃號召，穩步開拓國外市場，目標實現從輸出中國產品、中國技術，到輸出中國標準的產業升級。企業也將始終堅守設計、制造和供應可靠、可溯源、高質量計量檢測系統的宗旨，持續技術創新，為行業提供前沿的技術與產品，助力客戶提升制造能力與科研水平，致力于成為精密測量行業內具有影響力的企業，以專業、負責的態度為產業發展持續貢獻力量。